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1 、非接觸式測量：避免物件受損。
2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 2nm ---500μm。 
3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4 、納米***分辨率：垂直分辨率可以達0.1nm。
5、高速數字信號處理器：實(shí)現測量?jì)H需幾秒鐘。
6 、掃描儀：閉環(huán)控制系統。
7、工作臺：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8 、測量軟件：基于windows 操作系統的用戶(hù)界面，強大而快速的運算

干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì )非常靈敏地導致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測量幾何長(cháng)度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(cháng)(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長(cháng)為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無(wú)法比擬的。

干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。