美***AE公司 質(zhì)量流量計（FC-7700系列）
優(yōu)點(diǎn)：
高性?xún)r(jià)比
響應速度快：小于2秒
無(wú)與倫比的可靠性：使用***年以上，零點(diǎn)漂移小于滿(mǎn)量程的0.5%
易于集成：標準接頭和尺寸
出眾的效果：高品質(zhì)膜層與蝕刻特性
特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開(kāi)式電磁閥
允許***大清洗流量：高達***大校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
FC-7700氣體質(zhì)量流量計的詳細資料：
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產(chǎn)品是實(shí)踐驗證的適用多種應用的場(chǎng)合的標準產(chǎn)品，該流量計采用非金屬密封，流量控制精確，性?xún)r(jià)比高。該產(chǎn)品專(zhuān)為從業(yè)于半導體、平板顯示、數據存儲、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場(chǎng)的工藝和設備工程師設計，同時(shí)，該系列產(chǎn)品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學(xué)玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領(lǐng)域表現出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。
性?xún)r(jià)比高：
FC-7700系列產(chǎn)品專(zhuān)為那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應用而定制，不僅性?xún)r(jià)比好，而且控制精度非常高。
響應速度快：
FC-7700系列產(chǎn)品采用***新技術(shù)設計，工作性能遠遠優(yōu)于同類(lèi)質(zhì)量流量控制器MFC.其先進(jìn)之處包括：采用了***種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類(lèi)產(chǎn)品相比，FC-7700系列產(chǎn)品采用常開(kāi)或常閉式電磁閥，具有較快的響應速度。提高響應速度之后，避免了出現過(guò)沖，達到設定點(diǎn)的時(shí)間不到2秒－－在所有帶標準電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是***快的。
無(wú)與倫比的可靠性:
由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、***少元器件的設計理念，這使它可以經(jīng)受強射頻場(chǎng)的干擾，滿(mǎn)足其它運轉要求，并具有同類(lèi)產(chǎn)品中***佳的零點(diǎn)漂移穩定性－－使用超過(guò)***年，零點(diǎn)漂移不到滿(mǎn)量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產(chǎn)品中，僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨***年內返修。
易于集成:
替換其它品牌，即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢，且不會(huì )遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產(chǎn)品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現有的系統。
出眾的效果：
FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的***致性，同時(shí)還有高度的可重復性。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
