分辨率 | 0.75 nm @ 45 kV @工作距離4 mm 1.0 nm @ 30 kV @工作距離4 mm 2.5 nm @ 10 kV @工作距離4 mm |
放大倍數 | 100x - 1,000,000x |
視野 | 1 mm - 100 nm |
離子束 | 1 pA時(shí)<1 nm 離子束電流1 fA - 25 pA |
離子源 | 氦氣體場(chǎng)離子源 壽命 > 1000 小時(shí) 離子源電動(dòng)對中 |
樣品室 | 體積 400 mm3 基本真空度 2x10-7 Torr 接口板可定制 載物鎖 |
圖像探測器 | Everhart-Thornley二次電子探測器 微通道板(選配) 透射電子探測器(選配) |
樣品臺 | 5軸電動(dòng)樣品臺,X、Y軸行程50 mm,Z軸行程12 mm,360o 旋轉,0o到45o傾斜 |
真空系 統 | 無(wú)油無(wú)微粒低真空泵設計 磁懸浮渦輪分子泵 |
攝像機 | 三臺監控攝像機——離子源觀(guān)察、樣品臺觀(guān)察、樣品室觀(guān)察 |
用戶(hù)界面 | 兩臺20英寸平板顯示器 圖像2048 x 2048像素 系統主要參數存檔功能 |