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產(chǎn)品特點(diǎn)：
SIS模式——***適合高起伏樣品，減少探針磨損
測定更準確——閉環(huán)掃描器
操作更簡(jiǎn)單——測定導航功能
分析更方便——多點(diǎn)自動(dòng)測定，自動(dòng)解析功能

產(chǎn)品介紹:
1.可輕松的完成以往難以測定的高側面比深槽的樣品的測定
        搭載本公司獨自開(kāi)發(fā)SIS模式、可以實(shí)現對以前很難測定的，開(kāi)口很小的(50nm以下)樣品和測面比高的樣品等深槽和狹小槽的測定。如運用SIS模式和納米碳管探針，其威力更是倍增。
        閉環(huán)掃描器，徹底消除由滯后及蠕變現象造成的成像失真現象、大大提高了微區測量·微區加工的精度。做為標準配置，L-trace搭載了這種環(huán)狀掃描器。做為選項配置，閉環(huán)掃描器也可用于其它的機種。
2.搭載測定導向功能，大大提高了操作的簡(jiǎn)便性
        搭載探針自動(dòng)切換功能，降低由于誤操作而引起的探針損壞機率，提高操作效率。
        精工納米電子科技公司獨自開(kāi)發(fā)的操作導向系統，從設備準備到數據的保存印刷，準確地指導操作者完成各項操作。即使第***次上機操作，也可以輕松得進(jìn)行測定。
3.豐富的自動(dòng)測定功能
        依據菜單測定功能，可以實(shí)現掃描范圍內的多點(diǎn)自動(dòng)測定。
        常規的測定、重復的測定條件、繁瑣的測定等，從顏色的調整到繪圖的處理、解析、印刷都可簡(jiǎn)單得自動(dòng)處理。
        優(yōu)化的解析系統軟件，特別是對要求高速多功能同時(shí)測定解析的畫(huà)像，搭載了新的重疊解析功能和表示設定功能、使多彩的功能性及簡(jiǎn)易操作性得以完美的結合。