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半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規格

Olympus MX61L是對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號（反射透射兼用），可以應對明視場(chǎng)觀(guān)察到熒光觀(guān)察的多種觀(guān)察方法。切換物鏡時(shí)自動(dòng)調節連動(dòng)的亮度光圈等，實(shí)現了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。 

UIS 2物鏡生成鮮明的觀(guān)察影像 
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來(lái)的高品質(zhì)，忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無(wú)論是在目視觀(guān)察中還是在數碼影像觀(guān)察中都能發(fā)揮它的卓越性能。 

主要操作集中配置在前面板上 
在對比度的決定上起重要作用的亮度光圈（AS）的開(kāi)閉調節，與物鏡的切換和觀(guān)察模式連動(dòng)，用***個(gè)按鈕就可以操作。此外，用***個(gè)手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開(kāi)對焦手柄，只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。 

觀(guān)察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒 
為了適應視點(diǎn)而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話(huà)會(huì )浪費時(shí)間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無(wú)關(guān)的舒適觀(guān)察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這***款鏡筒拉長(cháng)了從觀(guān)察中心軸到觀(guān)察者視點(diǎn)的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。 

安全快速的搬運晶圓 
MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無(wú)接觸、安全和快速的執行從內面的宏觀(guān)檢查到微觀(guān)檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開(kāi)始和保存都可以在手中快速完成。 
*自動(dòng)晶圓搬送機AL110 詳情請點(diǎn)擊： http://www.recotech.com.cn/product_details.aspx?pid=48 

快速切換物鏡，提高檢查速度 
電動(dòng)物鏡轉換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類(lèi)型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時(shí)也不會(huì )由視場(chǎng)中心附近偏離。 

變換物鏡，亮度光圈（AS）也隨之調節 
每次變換物鏡時(shí)都需要調節亮度光圈（AS）的話(huà)，會(huì )影響檢查速度。MX61L對每個(gè)物鏡都可以設置觀(guān)察方法和AS（14***），只要切換物鏡就能以***合適的對比度進(jìn)行觀(guān)察。在變換物鏡和切換觀(guān)察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調節AS，提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。 

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置 
對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內置離合器的載物臺夾子，可切換粗調和細調。在顯微鏡觀(guān)察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺，快速完成檢查。 

使用數碼照相機記錄和保存數碼影像 
三目鏡筒可以安裝數碼照相機?？梢员４婧陀涗洈荡a影像，幫助創(chuàng )建觀(guān)察報告?？梢罁猛緩膱D像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數碼照相機。